MÁY BƠM CHÂN KHÔNG KHÔ DẠNG XOẮN ISP-1000E: LƯU LƯỢNG LỚN, CHÂN KHÔNG SẠCH (OIL-FREE)

Máy bơm chân không khô dạng xoắn ISP-1000E của Anest Iwata là một trong những mẫu bơm hiệu suất cao nhất trong dòng ISP, được thiết kế đặc biệt để cung cấp tốc độ bơm lớn (lên đến 1200 L/phút) và tạo ra môi trường chân không sạch tuyệt đối (Oil-Free). Đây là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng công nghiệp, nghiên cứu và bán dẫn đòi hỏi độ tin cậy và hiệu suất vượt trội.

ĐẶC ĐIỂM NỔI BẬT

1. Hiệu Suất Vượt Trội và Độ Tin Cậy Đã Được Chứng Minh

• Lưu lượng lớn: Cung cấp tốc độ bơm cao, đạt 1000 L/phút ở 50Hz và 1200 L/phút ở 60 Hz, lý tưởng cho việc rút ngắn thời gian bơm xuống (pump-down time) của các buồng lớn.
• Dải Áp Suất Rộng: Hoạt động ổn định trên dải áp suất lớn, từ áp suất khí quyển cho đến áp suất cực đại rất thấp (1 Pa).
• Chân Không Siêu Sạch (Oil-Free): Công nghệ xoắn ốc khô không sử dụng dầu bôi trơn bên trong buồng nén. Không có sự khuếch tán ngược của dầu, đảm bảo tạo ra môi trường chân không sạch (Clean Vacuum), cực kỳ quan trọng đối với các quy trình nhạy cảm như bán dẫn, lắng đọng hơi và phân tích.
• Độ Bền Cao: Bơm có khả năng chịu đựng các điều kiện lặp lại liên tục giữa trạng thái khí quyển và chân không, ngay cả khi vận hành liên tục gần áp suất khí quyển.
• Thành Tích Đã Được Chứng Minh: Anest Iwata là đơn vị tiên phong phát triển bơm xoắn khô. Dòng ISP-1000E đã khẳng định uy tín trên nhiều lĩnh vực, từ các máy gia tốc hạt tiên tiến đến các hệ thống chân không đa năng trong công nghiệp.

2. Vận Hành Êm Ái và Tiết Kiệm Năng Lượng

• Độ Rung và Tiếng Ồn Thấp: Quá trình nạp, nén và xả khí diễn ra liên tục theo cơ chế trục vít (scroll), giúp giảm thiểu dao động mô-men xoắn, dẫn đến độ rung và tiếng ồn cực thấp (67 dB(A)).
• Hiệu Suất Nén Cao: Buồng hút và buồng xả được thiết kế không liền kề nhau, giảm thiểu rò rỉ khí nội bộ và tối đa hóa hiệu suất nén khí.
• Tiết Kiệm Năng Lượng: Bơm duy trì mức tiêu thụ điện năng thấp từ áp suất khí quyển đến áp suất cực đại.

3. Lắp Đặt & Bảo Trì Dễ Dàng

• Không Dùng Nước Làm Mát: Bơm sử dụng hệ thống làm mát bằng không khí (Air-cooled), loại bỏ nhu cầu duy trì, kiểm tra hoặc thay thế nước làm mát, giúp đơn giản hóa việc lắp đặt và bảo trì.
• Bảo Trì Đơn Giản: Vì không sử dụng dầu bôi trơn hay bộ lọc dầu, việc bảo trì trở nên rất dễ dàng, chỉ cần bảo dưỡng định kỳ (thay thế vòng đệm/gioăng xoắn sau thời gian dài sử dụng).
• Tương Thích Toàn Cầu: Thiết kế đa điện áp cho phép sử dụng bơm với nhiều nguồn điện trên toàn thế giới (chủ yếu là động cơ ba pha).

MỤC ĐÍCH SỬ DỤNG (ỨNG DỤNG)

Bơm ISP-1000E là máy bơm chân không lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu lưu lượng lớn và môi trường sạch:

• Công nghiệp Bán Dẫn và Quang học: Thiết bị lắng đọng hơi (Vacuum Deposition), Thiết bị phún xạ (Sputtering), Thiết bị mạ ion (Ion Plating).
• Nghiên cứu & Khoa học: Máy gia tốc hạt (Accelerator), Thiết bị biến tính bề mặt, Xử lý chùm tia điện tử (Electron Beam Process), Thiết bị phân tích, Thiết bị thu hồi và tuần hoàn khí cho các thí nghiệm vật lý và hóa học.
• Công nghiệp Nhiệt & Luyện Kim: Lò nấu chảy chân không, Lò xử lý nhiệt chân không.
• Các Hệ Thống Chân Không Khác: Các hệ thống xả khí công nghiệp, Máy đóng gói chân không, Máy dò rò rỉ Heli (He Leak Detectors), Hệ thống vận chuyển hút chân không, và các ứng dụng chân không phòng thí nghiệm.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT CHI TIẾT ISP-1000E (BA PHA)

Lưu Ý Về Vận Hành & An Toàn

1. Chức năng Bảo Vệ Động Cơ: Các mẫu ba pha ISP-1000E không có chức năng bảo vệ động cơ tích hợp (nhiệt hoặc quá dòng). Để đảm bảo an toàn vận hành, bắt buộc phải lắp đặt thiết bị bảo vệ (ví dụ: bộ ngắt mạch/khởi động từ có chức năng bảo vệ quá tải).
2. Môi trường lắp đặt: Sản phẩm được thiết kế để sử dụng trong nhà. Cần lắp đặt ở vị trí khô ráo, tránh mưa, hơi nước và độ ẩm cao.
3. Điện áp: Điện áp động cơ cho phép là $\pm 10\%$ so với định mức.
4. Điều kiện đo lường: Các thông số kỹ thuật (tốc độ bơm, áp suất cực đại) được đo theo tiêu chuẩn của nhà sản xuất; hiệu suất thực tế có thể thay đổi tùy theo điều kiện lắp đặt và sử dụng của khách hàng.